阿斯麦工厂火灾初步影响评估:恐对EUV生产带来影响
虽然我们对损害的影响评估仍在进行中,但我们目前认为,对于计量和检测产品的产出计划并不受影响,因为它们不涉及在柏林工厂内制造的任何部件。而对于DUV光刻机组件的生产则已经重新启动。虽然DUV组件的生产方面曾出现了一些中断,但我们预计将以一种不会影响我们DUV的产量和收入计划的方式来补救这一问题。
而在EUV方面,火灾影响了我们EUV生产系统里的一个模块的生产区域。我们仍在致力于恢复该区域的生产计划,并将采取措施使火灾对EUV客户的潜在影响降至最低。”
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