BluGlass携华灿光电 促高性能LED技术商业化

ACB News《澳华财经在线》报道，BluGlass于4月26日发布公告宣布与华灿光电签署合作协议，共同挖掘RPCVD(低温远程等离子化学气相沉积)技术的应用潜力，加速商业化步伐。根据协议，华灿光电将主要评估RPCVD技术在低温沉积氮化镓薄膜工艺和氮化铝薄膜工艺中的优势，这两项工艺分别用于绿色LED和高亮度LED芯片制造。

BluGlass是一家绿色科技创新公司，在美国、中国、欧洲、日本等多个地区持有半导体技术的大量专利，致力于促进半导体行业突破性技术的商业化。目前BluGlass希望将RPCVD引进规模高达数百亿美元的全球LED照明市场，为制造商提供可选的补充技术。

图片来源：BluGlass

公告显示，RPCVD技术主要利用低温制造平台形成的氮化镓(GaN)、氮化铟镓(InGaN)等关键半导体材料薄膜，所产生的低温和灵活可控的特性为生产工艺提供了高效、低成本、性能佳、基地材料适用范围广等优势，对LED灯和电力电子器件等设备的生产具有关键意义。

BluGlass总裁Giles Bourne表示，RPCVD技术不断取得商业化成果，并逐渐获得业界的认可。目前已经有三家行业前沿公司对该技术做出了积极的行业评估。

公告提到，华灿光电将向BluGlass提供测试RPCVD技术所需要的4英寸单晶硅圆片，并负责后续组装工作。这次测试还将用到BluGlass设计的新型RPCVD反应腔，以提升RPCVD技术形成的氮化铝薄膜的均匀度。这种新型反应腔计划在未来数月中投入生产。

华灿光电2005年成立于武汉，是中国领先的LED芯片制造商，具备全球领先的研发能力和成熟的生产工艺，主要产品为全彩LED外延片和材料。2012年，华灿光电在中国创业板上市。

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